地下管道檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。
地下管道檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
地下管道檢漏儀校準(zhǔn)步驟
1、將檢漏儀的吸槍頭部抵觸校準(zhǔn)漏孔，若在1～3秒內(nèi)發(fā)生報警，則說明檢漏儀正常，其有關(guān)設(shè)定正確；
2、在1～3秒內(nèi)無反應(yīng)，首先應(yīng)調(diào)整其靈敏度微調(diào)旋鈕或提高靈敏度選擇檔位，再將吸槍頭部抵觸校準(zhǔn)漏孔，若在1～3秒內(nèi)發(fā)生報警，則說明正常，否則，判定為不完好，應(yīng)予以檢修。
地下管道檢漏儀進(jìn)展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面：
(1)便攜式：不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達(dá)數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
地下管道檢漏儀是對密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測量的儀器。檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。目前，檢漏技術(shù)在以下領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用：科學(xué)研究、航空航天、汽車制冷、軍事工業(yè)、分析儀器、發(fā)電廠、核工業(yè)、壓力容器、精密機械加工、醫(yī)療儀器/儀表、真空爐、鍍膜設(shè)備等裝置或系統(tǒng)、高真空和超高真空的工程、半導(dǎo)體等行業(yè)，將為您提供更快速，更經(jīng)濟，更的檢漏方案。
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